Дифрактометр высокого разрешения

Описание
Аксессуары и опции
Программное обеспечение

Дифрактометр высокого разрешения AXRD-HR – это многоцелевой дифрактометр базе AXRD-LPD, который объединяет в себе уникальные и самые передовые разработки в области рентгеновской дифракции, высокий уровень автоматизации, а также полностью модульную конструкцию. Благодаря инновационному гониометру, обеспечивающий максимальную угловую точность <± 0,01° Δ2θ во всем угловом диапазоне, дифрактометр AXRD-HR - идеальное решение для эпитаксиальных тонких плёнок, многослойных покрытий, монокристаллов, массивных и порошковых образцов.

Система оснащена вертикальным θ/θ гониометром высокого разрешения с горизонтально расположенным столом, оптикой параллельных лучей и сфокусированного пучка, сканирующим модулем In-plane. Гибкая конфигурация прибора позволяет пользователю самостоятельно и быстро переключать между пара-фокальной геометрией Брегга-Брентано для порошковой дифрактометрии и геометрией параллельного пучка при проведении исследований в области тонких пленок и эпитаксиальных структур. Доступен двухкристальный Ge(220) монохроматор на падающий пучок и двухкристальный анализатор Ge(220).

СПЕЦИФИКАЦИЯ
Геометрия	Вертикальный Θ/Θ
Радиус гониометра	200 – 300 мм, переменный
Конфигурация измерения	Фокусировка Брэгга-Брентано, Малоугловое рассеяние (GID), Отражательная способность рентгеновского излучения (XRR), Тонкая пленка, Текстура, Напряжение, Высокое разрешение (HR)
Угол сканирования	от -2° до 80° Θ
Скорость сканирования	0.0001º ~ 100º/мин (2θ)
Шаг двигателя	0.0001°
Точность	< ± 0.01° (2Θ)
Рентгеновский луч	Фокусирующее зеркало рентгеновского луча, зеркало параллельного луча, монохроматор Ge Johansson Kα1, монохроматор с двукратным отражение
Щели	щели расхождения и анти-рассеивающие, приемная щель, щель Соллера
Достижимая ширина пика	< 0.04° 2θ
Рентгеновская трубка	Стандарт: длинная тонкофокусная, тонкофокусная,обычная или широкофокусная керамическая рентгеновская трубка. Анод: Cu, Cr, Co, Mn, Mo, V и Ag.
Генератор	1200 Вт или 3000 Вт
Охлаждение трубки	Внешний автономный рециркулятор-охладитель типа вода-воздух
Детектор	SPD (точечный) или MYTHEN2 R 1D, MYTHEN2 R 1K (линейный), Pilatus3 100K (площадь)
Держатель образцов	Одинарный, массивный образец, вращение, многопозиционный
Приставки	Температурные, под давление, низкий или высокий вакуум влажность
Размер	144×195×92 см (Ш×В×Г)
Вес	600 кг
Питание	200 – 240 В, 50/60 Гц, 25А

Отражательная способность рентгеновского излучения (XRR)

Описывает физические свойства поверхности тонких пленок, многослойных покрытий и поверхностей раздела.

Позволяет определить следующую информацию:

Толщина слоя
Шероховатость поверхности и интерфейса
Плотность
Химический состав
Плотность дислокации

Можно анализировать аморфные, поликристаллические и монокристаллические слои и покрытия.

Кривые качания

Кривые качания с высоким разрешением могут быть использованы для анализа эпитаксиальных монокристаллических пленок и определения кристаллического совершенства объемных монокристаллов.

Позволяет определить следующую информацию:

Состав и толщина слоя
Несовпадение, релаксация (деформация решетки)
Наклон слоя, кривизна и разориентация
Мозаичность
Плотность дислокации

Карта обратного пространства

Этот метод высокого разрешения дает наибольшую информацию об эпитаксиальных тонких пленках и необходим для анализа напряженных пленок.

Позволяет определить следующую информацию:

Отдельные эффекты смещения пика Брэгга для точного определения деформации, состава, параметров решетки и толщины слоя
Различать напряжение и композиционные изменения
Различать уширение из-за мозаичного распространения или кривизны

Превосходное разрешение, точность и качество данных:

Кремниевый точечный детектор SPD, производства PROTO

Улучшенный одноканальный, линейный детектор Dectris Mythen2R 1D

Высокоскоростной линейный детектор Dectris Mythen2R 1K

Высокоскоростной линейный детектор Dectris EIGER2 R 500K для 2D порошковой дифракции

Держатели образцов:

Доступны различные типы держателей образцов, позволяющие удовлетворить потребности любой лаборатории.

Держатели образцов диаметром 28 мм;
Держатели образцов с обратной загрузкой для смены шести образцов;
Si плоский держатель нулевого фона;
Si плоский держатель нулевого фона с полостью;
Диски из плавленого кварца с низким фоном;
Стеклянные диски (для нанесения жидкой суспензии или пылеобразного порошка);
Изготовленные на заказ держатели образцов.

Дополнительные аксессуары:

Низкотемпературная камера ТТК600

Компактные столики нагрева BTS 150, BTS 500

Камера реактора XRK 900

Высокотемпературная камера HTK 1200N

Камера регулируемого давления PS30

Высокотемпературные камеры c ленточным нагревом HTK 16N, HTK 2000N

Столик FlexStage для большого образца

Пользовательские столики и держатели

Вращающийся столик для одного образца

6-ти позиционный сменщик образцов

Герметичная камера образцов с защитой от атмосферы.

Программное обеспечения XRDWIN 2.0 PD для получения дифрактограмм

Компания Proto Mfg. поставляет универсальное программное обеспечения XRDWIN 2.0 PD собственной разработкой для всех типов порошковых дифрактометров собственного производства. Программное обеспечение XRDWIN 2.0 PD позволяет легко настроить персонализированные параметры сканирования для отдельных режимов съемки и анализировать данные в режиме реального времени. Встроенные подсказки оптимизируют юстировку и калибровку, делая процесс доступным даже для начинающего пользователя.

Программное обеспечение PDAnalysis для обработки дифрактограмм

Универсальное программное обеспечение PDAnalysis позволяет пользователю анализировать данные, полученные с помощью ПО XRDWIN 2.0 PD. PDAnalysis имеет неограниченное количество лицензий и позволяет пользователям работать со своими данными в лаборатории или в другом, удобном, для них месте, включая удаленно.

Расширенные функции этой программы позволяют пользователю проводить качественный и количественный анализ, в том числе:

Подгонка и разделения пиков Kα1 и Kα2;
Сглаживание данных;
Сглаживание и вычитание фона;
Поиск и подгонка пиков;
Количественный фазовый анализ;
Поиск и сопоставление данных с базами данных COD и ICDD;
Метод сравнения интенсивности линий по эталонам;
РФА калибровка и анализ данных, полученных кремневым точечным детектором;
Анализ размера и деформации кристаллитов, полюсные фигуры и текстура;
Уточнение параметров решетки и индексирование;
Анализ остаточного аустенита и остаточного напряжения;
Кривые рентгеновской отражательной способности (XRR), кривые качания и карты обратного пространства;
Другие специализированные методы.